Pooljuhtmaterjalide mikrostruktuuri analüüs ja hindamine
Teenuse tutvustus
Suuremahuliste integraallülituste pideva arenguga muutub kiibi tootmisprotsess üha keerukamaks ning pooljuhtmaterjalide ebanormaalne mikrostruktuur ja koostis takistavad kiibi saagise paranemist, mis toob kaasa suuri väljakutseid uute pooljuhtide ja integraallülituste juurutamisel. vooluahela tehnoloogiad.
GRGTEST pakub põhjalikku pooljuhtmaterjalide mikrostruktuuri analüüsi ja hindamist, et aidata klientidel parandada pooljuhtide ja integraallülituste protsesse, sealhulgas vahvlitaseme profiili ja elektroonilise analüüsi ettevalmistamist, pooljuhtide tootmisega seotud materjalide füüsikaliste ja keemiliste omaduste põhjalikku analüüsi, pooljuhtmaterjalide saasteainete analüüsi koostamist ja rakendamist. programm.
Teenuse ulatus
Pooljuhtmaterjalid, orgaanilised väikese molekuliga materjalid, polümeermaterjalid, orgaanilised/anorgaanilised hübriidmaterjalid, anorgaanilised mittemetallilised materjalid
Teenindusprogramm
1. Kiibi vahvlitaseme profiili ettevalmistamine ja elektrooniline analüüs, mis põhineb fokuseeritud ioonkiirtehnoloogial (DB-FIB), kiibi kohaliku piirkonna täpsel lõikamisel ja reaalajas elektroonilisel pildistamisel, võimaldab saada kiibi profiili struktuuri, koostist ja muud oluline protsessiteave;
2. Pooljuhtide tootmismaterjalide füüsikaliste ja keemiliste omaduste põhjalik analüüs, sh orgaanilised polümeermaterjalid, väikese molekuliga materjalid, anorgaaniliste mittemetalliliste materjalide koostise analüüs, molekulaarstruktuuri analüüs jne;
3. Pooljuhtmaterjalide saasteainete analüüsiplaani koostamine ja rakendamine.See aitab klientidel täielikult mõista saasteainete füüsikalisi ja keemilisi omadusi, sealhulgas: keemilise koostise analüüs, komponentide sisu analüüs, molekulaarstruktuuri analüüs ja muud füüsikaliste ja keemiliste omaduste analüüs.
Teenindusesemed
| Teenindustüüp | Teenindusesemed |
| Pooljuhtmaterjalide elementide koostise analüüs | l EDS-i elemendianalüüs, l röntgenfotoelektronspektroskoopia (XPS) elementanalüüs |
| Pooljuhtmaterjalide molekulaarstruktuuri analüüs | l FT-IR infrapunaspektri analüüs, l röntgendifraktsiooni (XRD) spektroskoopiline analüüs, l Tuumamagnetresonantsi popanalüüs (H1NMR, C13NMR) |
| Pooljuhtmaterjalide mikrostruktuuri analüüs | l Topeltfokuseeritud ioonkiire (DBFIB) viiluanalüüs, l Mikroskoopilise morfoloogia mõõtmiseks ja jälgimiseks kasutati väljaemissiooni skaneerivat elektronmikroskoopiat (FESEM), l Aatomjõumikroskoopia (AFM) pinnamorfoloogia jälgimiseks |
